绿碳化硅在晶圆抛光中发挥着重要作用，主要体现在以下几个方面：
1、硬度高与切削效率高：绿碳化硅的硬度仅次于金刚石，这种高硬度特性使其在抛光过程中能够迅速而有效地去除晶圆表面的微小瑕疵和划痕，确保晶圆表面达到较高的光滑度和平整度。
2、良好的自锐性：绿碳化硅磨料的粒度分布均匀，磨粒形状等积且具刃锋。在抛光过程中，绿碳化硅能够保持较好的自锐性，不断自我修整并保持锋利的刃口，从而提高抛光效率和加工质量。
3、优异的耐磨性能：绿碳化硅的耐磨性优异，能够在长时间使用中保持刃口的锋利度，减少抛光过程中的阻力和摩擦。
4、良好的热稳定性：在抛光过程中，由于摩擦和切割产生的热量较高，绿碳化硅能够抵抗高温的影响，保持其硬度和耐磨性。
5、优异的耐化学性能：绿碳化硅能够抵抗多种腐蚀性介质的侵蚀，在半导体制造等过程中，工件表面往往会接触到各种化学试剂和气体。绿碳化硅的耐化学性能确保了其在复杂的化学环境中保持材料的稳定性和完整性，从而保证了抛光过程的稳定性和可靠性。
